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高真空材料昇華系統

1‧6”電子級石英玻璃管一支,長1800mm。
2‧可生產500公克材料。
3‧三區加熱爐,本加熱爐為國外進口加熱爐,加熱溫度曲線平穩,均溫性佳。
4‧最高加熱溫度1200℃。
5‧氦氣冷凍捕捉系統,可以以超低溫捕捉游離材料,增加冷凍高真空泵浦的使用壽命。
6‧加熱爐門配重處理,用極少的力量即可開啟。
7‧滑軌式設計,方便拿取放置的內管及內容物及拆卸爐管。
8‧人機控制系統。
9‧220V, 3Φ。
 

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