TIEN XIN VACUUM CO., LTD.
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Load Lock 傳遞桿
1‧CF35法蘭連接口徑。
2‧可做上下動作,基板不用另做接收動作。
3‧移動距離可訂做。
4‧馬達作動,移動穩定。
5‧真空可達10
-8
Torr。
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