添鑫真空-高真空低溫基板加熱系統

高真空低溫基板加熱系統

1‧可加熱至750℃。(石英管加熱)
2‧16段PID控制。
3‧可控制基板旋轉速度。（0~60RPM）
4‧可加偏壓。（5KW、N-TYPE）
5‧可調整上下距離。(非真空下、30cm)。
6‧有4”、6”基板可選擇。
7‧需冷卻水。(20℃、2 l/m)
8‧可達真空值。(10^-8 Torr)
9‧模組化設計、方便安裝在任何系統上(CF200 or ISO200)。
10‧除了基板其他地方無高溫問題。