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經濟型真空濺鍍系統
腔體:
1．3孔濺鍍槍位置,安裝2支2"濺鍍槍
2．前開式門,方便拿取及安裝基板耙材
3．全模組式設計,方便安裝其他真空元件
4．4”視窗
濺鍍槍:
1．2"濺鍍槍2支
2．可調角度45度
3．可同時使用磁性及非磁性耙材
加熱器:
1．可加熱至750
2．可旋轉(0~60rpm)
3．可加偏壓(5kv)
4．所有功能可同時使用
5．可調整上下距離,方便調整濺鍍距離
架台:
1．粉體烤漆
2．腔體及控制箱整合為一,不佔空間
3．有輪子及腳架,方便運送及定位
抽氣系統:
1．全手動模式
2．Turbo Pump(300L)
3．油式機械泵浦(330L)
4．腔體及粗抽洩氣閥
5．真空值 10-6 Torr/30min
控制系統:
1．1低1高真空組
2．Turbo及粗抽泵浦,面板起動控制
3．氣體流量控制器
冷卻系統:
1．12000BTU冰水機
2．5孔式水排
3．Turbo及加熱器冷卻管路
4．濺鍍鎗冷卻管路
氣體管路:
1．Ar 100sccm
2．腔體洩氣閥
3．粗抽管路洩氣閥 |
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