|
|
熱蒸鍍系統
腔體:
1．腔體材質:SUS304拋光電解鋼材
2．前開式門,方便拿取及安裝基板耙材
3．全模組式設計,方便安裝其他真空元件
4．4”視窗
蒸鍍源:
1．10組蒸鍍源
2．可安裝各種鎢舟
架台:
1．粉體烤漆
2．腔體及控制箱整合為一,不佔空間
3．有輪子及腳架,方便運送及定位
抽氣系統:
1．全手動模式
2．Turbo Pump(300L)
3．油式機械泵浦(330L)
4．腔體及粗抽洩氣閥
5．真空值 10-6 Torr/30min
控制系統:
1．1低1高真空組
2．Turbo及粗抽泵浦,面板起動控制
3．氣體流量控制器
4．蒸鍍源電力控制器
冷卻系統:
1．12000BTU冰水機
2．2孔式水排
氣體管路:
1．腔體洩氣閥
2．粗抽管路洩氣閥 |
|
