添鑫真空-超高真空濺鍍槍

超高真空濺鍍槍

１．2”、3”、4”多種尺寸可選擇。
２．可安裝角度調節器，可調節角度±45°。
３．可使用非1/4厚耙材。
４．非吸入式固定耙材，所以耙材不用另外加工才能安裝。
５．模組化設計，全部零件標準化設計。
６．擋板可和Gun同時作動，不用分開。
７．可安裝在多種法蘭上。
８．磁鐵與冷卻系統分離，磁鐵無氧化問題，磁鐵壽命延長。
９．可調整磁場，以達到最佳濺鍍速率。
１0．反應氣體直接連接至耙材處，可減少反應氣體使用量。
１1．可濺鍍磁性及非磁性耙。
１2．超高真空環境專用。