超高真空磁控濺鍍系統

超高真空磁控濺鍍系統

特點 :

■ SUS304L 腔體所有內部表面電解研磨 (Electrolytic Polishing)

■ 多陰極直流 / 射頻磁控濺射
■ + / - 5％或更高的一致性

■ RF，直流或脈衝直流電源陰極

■ 行星基板可調速系統
■ 自動化流程運作

■ 基板尺寸可達 8 inch

■ LOAD-LOCK 傳送機構

■ 10E-8Torr 在60分鐘內

■ 10E-9Torr 極限真空渦輪泵
■ 10E-10Torr 極限真空離子泵

選項 :
■ 最多可安裝6支濺鍍槍

■ 濺鍍槍角度及距離可調整

■ 基板加熱可用800 °C 或1200 °C
■ RF或直流偏壓

■ 基板公自旋轉調速
■ 壓力控制-節流閥
■ 濺射向上，向下配置
■ 可選擇渦輪/ 冷凍/ 擴散泵