添鑫真空-超高真空公自轉基板加熱系統

超高真空公自轉基板加熱系統

1‧有多種基板數量可選擇。（３、４、６、８）
2‧全數基板可加偏壓。（30A，N-TYPE）
3‧可公轉自轉各獨立運作，也可以同時運作使用(0~60RPM)。
4‧可加熱至1200℃。（２區，電阻式加熱）16段PID控制。
5‧可達真空值10^-10Torr。特殊航太材料，全系統無氧化材料，可耐酸鹼。
6‧模組化設計，方便安裝在任何系統上。（CF300）
7‧可配合Load Lock傳遞桿使用。
8‧除了基板其他地方無高溫問題。