高真空濺鍍系統

高真空濺鍍系統

特點 :
■ SUS304L 腔體所有內部表面電解拋光 (Electro Polishing - EP)
■ 2 組內襯使用
■ 多陰極直流 / 射頻磁控濺射
■ + / - 5％或更高的一致性
■ 行星基板轉換系統
■ 自動化流程運作
■ 基板尺寸可達 8 inch
■ 10E-6Torr 在30分鐘內
■ 10E-7Torr 極限真空渦輪分子泵

選項 :
■ 基板加熱可用800°C 或1200°C
■ RF或直流偏壓
■ 基板公自旋轉
■ 壓力控制-節流閥
■ 濺射向上，向下配置
■ 可選擇渦輪 /冷凍 /擴散泵