化學氣相沉積系統

化學氣相沉積系統 1‧各種CVD系統皆有製作。 2‧可安裝電漿產生器。 3‧管件選用EP管，防止氣體殘留造成危險。 4‧真空可達10^-7 Torr。 5‧前開門式設計，方便拿取及放置物品。