1‧可加熱至1200℃。(電阻式加熱)
2‧16段PID控制。
3‧可控制基板旋轉速度。（0~60RPM）
4‧可加偏壓。(5KW、N-TYPE)
5‧可在真空下調整上下距離。(30cm)
6‧有4”、6”基板可以選擇。
7‧無需冷卻水。
8‧可達真空值。(10^-10 Torr)
9‧特殊航太材料，全系統無氧化材料、可耐酸鹼。
10‧電子控制調整上下距離，並有顯示器顯示調整值。
11‧模組化設計，方便安裝在任何系統上。
12‧可配合Load Lock傳遞桿使用。
13‧除了基板其他地方無高溫問題。